台积电EUV光刻机超百台领跑，日本2nm工艺公司抢眼

9月29日讯 随着半导体工艺不断精进，芯片制造对光刻机的要求也愈加严苛，尤其在5nm及以下制程的竞争中，EUV光刻机已成为不可或缺的核心设备。目前全球唯一能供应EUV光刻机的厂商是荷兰ASML公司，台积电、三星、英特尔等芯片制造巨头都是其重要客户。

各家芯片厂商的EUV光刻机保有量反映了其在先进制程领域的竞争实力。调研机构BOFA最新发布的2024至2025年数据显示：

作为全球最大晶圆代工厂，台积电在EUV设备投入上遥遥领先。除却2024年仅采购10台的异常年份外，其平均年采购量保持在25台左右，累计总量已突破107台，成为首家EUV光刻机数量破百的半导体企业。

三星半导体同样表现不俗。自7nm节点导入EUV技术以来，其年均采购量维持在10-15台(仅今年降至3台)，目前拥有55台EUV设备。值得一提的是，三星不仅在逻辑芯片领域运用EUV技术，其存储芯片产线也逐步引入EUV工艺。

SK海力士近两年开始发力，在前期少量采购后迎来爆发式增长，目前总保有量已达26台EUV光刻机。

英特尔的发展则颇具转折性。早期对EUV技术持保守态度，直至Intel 4工艺才正式采用。前任CEO基辛格主导的IDM 2.0战略曾大举订购新型High NA EUV设备，但现任管理层调整工厂建设计划后，今年EUV采购已暂停。当前累计采购量25台，位列五大厂商之末。

专注存储芯片的美光在今年首次采购5台EUV设备，正式加入EUV俱乐部。

值得关注的是日本新兴选手Rapidus。这家成立仅两年的企业已锁定2nm工艺目标计划，并提前布局EUV设备采购。其2027年量产目标若能实现，将成为EUV设备需求的新增长点。

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