台积电放弃采购40亿ASML光刻机：A14/A10工艺另有出路

10月22日消息，《工商时报》今日（10月22日）发表文章称，随着技术节点进一步微缩至1.4纳米（A14）及1纳米（A10），台积电面临新的制造瓶颈，公司决定放弃采购单价高达4亿美元（按当前汇率约合28.37亿元人民币）的ASML高数值孔径（High-NA）EUV光刻机。

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理论上，引进荷兰ASML公司尖端的高数值孔径（High-NA）EUV光刻机是解决该问题的直接方案。然而最新报道指出，台积电并未选择采购，而是决定采用“光掩模护膜”技术作为替代方案，以推进其2纳米等先进制程的研发与生产。

这项决策的核心考量在于成本控制。一台高数值孔径EUV光刻机的售价高达4亿美元，是一笔巨大的资本支出。该媒体指出台积电认为，该设备目前带来的效益与其高昂的价格并不匹配。

因此，公司选择了一条更经济的路径——在现有标准EUV光刻机基础上引入光掩模护膜，保护光掩模在光刻过程中免受灰尘等微粒污染，从而实现更精密的芯片制造。

尽管光掩模护膜方案能够规避巨额的设备采购费用，但它也带来了新的技术挑战。使用标准EUV光刻机生产1.4纳米和1纳米级别的芯片，需要进行更多次曝光才能达到所需精度。

这意味着光掩模的使用频率会大幅增加，不仅拖慢生产节奏，还可能对芯片良率构成潜在风险。台积电需要通过大量的“试错”来优化生产流程的可靠性，这无疑是一场技术上的攻坚战。

台积电拒绝采购高数值孔径EUV光刻机的另一个因素，可能在于其供应量的限制。据了解，ASML每年仅能生产五到六台此类设备。对于需要采购多达30台标准EUV光刻机才能满足苹果等大客户庞大需求的台积电而言，将巨额资金投入到少数几台设备上，并不符合其长期产能规划。