国产DUV光源实现工业级突破，全固态深紫外激光器量产

来源：环球网

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【环球网科技综合报道】长期以来，深紫外（Deep Ultraviolet，简称DUV）激光器领域一直被海外厂商垄断。近日，杭州雷声激光技术有限公司宣布，其自主研发的全固态DUV激光器已实现规模化稳定量产。经权威机构检测，其核心性能指标已达到国际领先水平，标志着我国在高端光电子核心器件领域取得了关键性突破。

深紫外激光作为光子的“尖端利器”，在半导体芯片光刻检测、精密微纳加工、前沿科研、高端医疗及国防安全等领域具有不可或缺的战略价值。然而，其核心技术长期被国际少数巨头所掌控，成为制约我国相关产业自主发展的关键瓶颈之一。

自创立以来，雷声激光始终秉持“打造中国人自己的高端激光”这一信念，将全固态深紫外激光器作为主攻方向。面对材料、工艺、封装、控制等环节的严苛挑战，公司集结了一支由顶尖光学工程师、物理学家和工艺专家组成的攻坚团队，以“毫厘之功，微米之究”的严谨态度，从固态晶体的高质量生长与精密加工，到谐振腔的亚微米级稳定设计；从泵浦源的特制与优化，到散热管理和长期老化测试中的海量数据积累，不断打磨与优化产品。

权威检测机构对雷声激光提交的产品进行了全面严格的测试，并出具了权威认证报告。报告显示，该系列激光器在光束质量、功率稳定性、长期可靠性及能量转换效率等关键指标上，均已达到国际顶级水准。

检测报告显示，产品在核心指标上表现卓越：光束质量（M²因子）接近衍射极限，处于国际最优行列；输出功率长期稳定性优于±0.5%，保障了工业应用的极致精度；平均无故障运行时间（MTBF）大幅领先行业标准，输出功率达瓦级以上（1.17W），展现了非凡的可靠性；整机电光转换效率实现行业突破，从行业主流气体激光器的约3%提升至46%以上，更具节能环保优势。

近期，杭州市科技局组织行业顶尖专家为雷声激光召开了专项技术论证与未来发展研讨会。与会专家一致认为，雷声激光已成功突破了全固态深紫外激光器的量产瓶颈，其技术路线与产品性能具有显著的独创性和领先性，是杭州市乃至国家在高端激光领域掌握核心竞争力的典范。

面对资本市场关注，公司明确表示：暂无上市计划，未来三年将集中资源深耕“更精密、更稳定、更通用”三大方向，持续提升波长稳定性、功率噪声等关键参数，并拓展在光刻检测、量子计算、生物光子学等前沿场景的应用能力。

目前，雷声激光DUV模块已批量交付给多家国内半导体设备厂商、精密检测仪器公司和前沿科研机构。（张阳）