首款等离子体工艺仿真平台在中国研发成功
源自：科技日报
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记者 张蕴
原子级制造被视为驱动新型工业化的核心“根技术”，但其发展一直受限于技术瓶颈。记者从大连理工大学获悉，该校科研团队成功研发出国内首款具有自主知识产权的等效离子体工艺腔室仿真平台（MAPS）。该平台能在虚拟世界中精准复现真实的制造过程，从而实现对产品性能的提前预测与研发前置。
大连理工大学集成电路学院党委书记、博士生导师高飞介绍，MAPS能够对产业界的原子级制造装备进行全方位仿真，涵盖外部控制参数与装置几何结构。平台将输出最终优化结果，从而大幅节省部件整体研发时间，显著提升研发效率。依托大连理工大学的学科优势，经过多年技术攻关与数万次等效离子体实验测试，目前该技术已成功应用于拓荆科技、华为等多家集成电路装备企业。与国外同类产品相比，该平台可节约经济成本约15%，缩短时间成本约20%。
大连理工大学国家重点学科等效离子体物理学学科教授张钧如表示：“团队与国内多家头部企业开展了深入合作，建立了校企联合实验实室。这意味着学生在校期间就能深入企业参与联合技术攻关项目，这一模式为相关产业培养了更多高精尖紧缺人才。”
目前，辽宁省已将原子级制造纳入未来产业重点发展方向，依托重点实验室群等载体，组织开展原子级制造技术专题路演推介等活动。辽宁省科学技术厅副厅长许爱东表示：“辽宁省设立了未来产业的科技计划，围绕原子级制造、量子科技、具身智能等方向开展基础研究和前沿攻关，将努力形成一批助力产业发展的‘根技术’，加快实现‘换道超车’。”
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