光刻机冷却材料氢气受冲击，台积电回应影响有限

3月14日消息，过去半个月全球多地局势紧张，不仅严重冲击了石油、天然气等能源供应，甚至波及到半导体行业，尤其是氢气供应。

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对于当前氢气短缺的担忧，全球最大的晶圆代工厂台积电也做出了回应，表示目前不会对运营产生重大影响，但会保持关注。

半导体制造工艺极为复杂，需要用到多种特种气体。氢气是其中用量较大也非常重要的一种，它的沸点低至-268.9摄氏度，是自然界中最难液化的物质，具备极强的化学稳定性、导热性与渗透性。

在半导体生产过程中，光刻机及离子注入机都需要用氢气冷却，它还是晶圆清洗、蚀刻工艺中的保护气体，对稳定生产至关重要。

根据行业数据，采用3-7纳米工艺的晶圆，每片生产大约需要120升氢气，而3纳米以下的先进工艺则需150升，并且对氢气纯度的要求也提升了一个量级。

全球氢气生产主要来自天然气，因此主要能源国在这方面优势显著，产量第一的是美国，其产能约占全球总量的40%。

中东地区的卡塔尔今年已成为世界第二大氢气供应国，去年产量达6000万立方米，约占全球总量的三分之一，也是我国进口氢气的主要来源。美国进口氢气的数量，则因众所周知的原因，目前占比已变得极低。