第八届MEMS智能传感器产业生态大会在蚌埠举行

第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会，于5月31日上午在安徽蚌埠盛大开幕。本届大会以“芯聚江淮 智感世界”为主题，规格极高——由安徽省科技厅、中国兵器工业集团民品产业部、蚌埠市政府、中国微米纳米技术学会等多家权威机构联合主办，同时获得中国传感器与物联网产业联盟的鼎力支持。现场参会人数超过600人，院士专家、企业代表与投资机构汇聚一堂，共同探讨产业未来发展趋势。

先提炼几个核心判断：蚌埠作为中国三大传感器研发制造基地之一，在MEMS传感器领域已深耕三十余年。放眼全国，同时拥有集成电路和MEMS晶圆生产线的城市屈指可数，而蚌埠正是其中之一。近年来，蚌埠依托安徽北方微电子研究院等大院大所和行业龙头，在智能传感产业上持续加大投入。政策层面，出台了《蚌埠市推动智能传感产业高质量发展若干政策》和《关于支持智能传感产业人才发展的十条措施》；资本层面，组建了总规模逾70亿元的智能传感产业发展基金；法治保障方面，更是实施了全国首部促进智能传感产业发展的条例。目前全市已集聚相关企业200余家，形成了从材料装备、研发设计、晶圆制造、封装测试到终端应用的完整产业链条。中国传感谷也跻身全国十大高质量传感器园区第六位。

大会开幕式上，一个重磅动作是异质异构集成微系统全国重点实验室正式揭牌。同时，三套原创工艺技术和七款产品同步发布——具体包括：MEMS-OCS（光交叉互联芯片）微纳集成工艺体系、Ca vPiezo（空腔型绝缘体上硅基压电MEMS工艺体系）、SMCD（表面微机械电容式器件工艺体系）。这些成果的发布，有效破解了微纳领域的核心技术瓶颈，构建起自主可控的技术与产业体系。

大会期间，《集成传感与微系统》期刊也正式亮相，主办单位是安徽北方微电子研究院集团有限公司。这本期刊致力于打造高水平的学术交流平台，推动从集成器件、智能传感到微系统集成的全产业链创新融合。主编由中国科学院刘胜院士担任，安徽北方微电子研究院集团有限公司董事长陈丙根和东南大学黄庆安教授共同担任执行主编。

另一个值得关注的亮点是蚌埠市首轮MEMS工程流片券政策的发布。按照此政策，企业最高可按照流片费用的50%获得补助，每家企业每年补助总额最高可达500万元。从实际效果来看，这项政策切实降低了企业的MEMS工程流片成本，为芯片、器件、模组等关键技术的研发与成果转化提供了有力支撑，进而有力推动整个智能传感产业的高质量发展。

除上述议程外，大会还对中国传感谷以及《支持中国传感谷发展若干政策（2.0版）》进行了重点推介，并举行了智能传感产业创新创业大赛颁奖活动。会场内外，共展示了20个智能传感项目，总协议金额达45.8亿元。多位院士和专家发表了主旨演讲，30余位业内专家、企业家也带来了专题报告。