东微电子光刻机核心部件获中芯国际、长鑫存储认证

8月7日最新消息，河南东微电子材料有限公司（简称"东微电子"）近日取得重大技术突破。该公司自主研发的光刻机核心部件——包括直线电机、光源、光纤、磁座等关键零部件，已成功通过中芯国际和长鑫存储的严格认证。

东微电子强调，这一突破不仅代表着企业自身的技术实力，更是中国半导体产业链国产化进程中的重要里程碑。

值得注意的是，在2024年12月国家五部门联合发布的《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录（2024年版）》中，光刻机用直线电机被明确列为关键"卡脖子"项目。这类核心部件的自主生产能力，对我国突破国外光刻机技术垄断具有战略意义。

面对国际技术封锁，东微电子组建了专业的技术攻坚团队。经过多年潜心研发，团队针对光刻机关键零部件在特殊性能指标、极端使用环境和精密制备工艺等方面的技术难点展开全面攻关，最终实现了与国际顶尖水平的对标。

技术专家介绍，直线电机是光刻机运动平台的核心部件。在芯片制造过程中，光刻机需要以纳米级精度将电路图案"雕刻"在硅片上，而直线电机正是驱动工作台和掩模台进行高速、超精密直线运动的关键元件，其性能直接决定了设备的定位精度和运动稳定性。

随着芯片制程进入纳米时代，传统的旋转电机加传动机构的方式已难以满足精度要求。直线电机凭借其直接驱动、无机械损耗、响应速度快、精度高等优势，成为当前唯一可行的技术方案。然而，高端光刻机用直线电机技术门槛极高，此前国内市场基本依赖进口。

公开资料显示，东微电子于2018年落户河南省郑州市航空港实验区，并在上海、北京、无锡、厦门等地设有研发生产基地。公司致力于打造高端集成电路制造用材料和设备零部件的一站式服务平台，为中国半导体产业解决"卡脖子"难题提供有力支撑。

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