西部首条硅光中试线开通，国内半导体迎来新突破

作者｜欧雪

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编辑｜袁斯来

在人工智能、自动驾驶、量子通信等前沿技术迅猛发展的当下，作为底层支撑的光子技术正日益成为全球科技竞争的战略高地。在此背景下，陕西省于2024年启动“追光计划”。

11月4日，在西安举行的2025硬科技创新大会光子产业高峰会议上，陕西光电子先导院宣布，西北地区首条8英寸先进硅光集成技术平台（以下简称“8英寸硅光平台”）正式贯通。这一突破不仅填补了区域产业链的空白，更成为陕西打造千亿级光子产业集群的核心支点。

“目前全球硅光中试资源大多集中在欧美企业手中，国内企业若依赖国外平台流片，不仅需支付高昂费用，还面临周期长、产能受限等挑战。”陕西光电子先导院总经理杨军红在会议现场指出。她表示，自建产线所需巨额设备投入，更让中小企业和科研团队望而却步。

（陕西光电子先导院总经理杨军红介绍“追光计划”进展及硅光中试平台）

据了解，光电子先导院此次贯通的8英寸硅光平台总投资7.5亿元，引进了比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”，并配备了光刻、刻蚀等60余台关键设备。该平台在130nm有源硅光集成主工艺基础上，正开发90nm以上先进工艺，构建起自主可控的工艺体系。

“这是西北首个硅光领域中试平台，加上我们此前建设的6英寸化合物平台，我们已成为国内少数具备全链条中试能力的创新载体。”杨军红介绍，该平台采用“1+N”柔性工程模式，主工艺平台80%资源向中小企业开放中试流片服务，20%用于支持前沿研发，实现资源高效配置与产业协同。

除了人工智能与数据中心，付鹏指出，光子传感是另一个高速增长的市场。“激光雷达不仅在自动驾驶汽车中广泛应用，扫地机器人、具身机器人等消费电子和工业自动化场景中需求也日益旺盛。未来，自动化设备对激光雷达的搭载数量将持续上升。”

“未来五年内，硅光主要应用于数据中心内部的‘光进铜退’——光通讯在越来越短的距离内替代电信号，甚至到厘米级，连板卡上的芯片与接口芯片之间都将通过光连接互联进行数据传输。”付鹏解释道，“这需要大量光芯片实现电—光—电的转换。”

而在五年之后，他预测光计算芯片将逐步兴起。“目前已有企业在尝试用光计算芯片进行特定问题的计算。虽然目前还无法完全替代GPU，但光计算速度快、能耗极低，未来在数据中心中的占比将逐步提升。”

陕西“追光计划”自2024年启动以来，已推动全省光子产业实现跨越式成长。杨军红在会议中透露，截至目前，陕西光子企业数量已增至379家，产业规模从150亿元跃升至365亿元，初步构建起“材料—芯片—器件—系统”的完整产业链。

在平台建设的同时，陕西在光子基础研究与机制创新上也迈出关键一步。本次光子峰会上，中国科学院西安光机所副所长付玉喜首次公开了“光子科技实验室”的建设蓝图。

据介绍，该实验室于今年8月通过专家论证，进入培育建设期，以中国科学院西安光机所为理事长单位，依托陕西光电子先导院，打造“大科学装置+共性技术平台+科技金融+创新联合体”为一体的综合性实验室。总投入超10亿元，理事单位17家，培育期1—2年。

付玉喜透露，实验室短期目标包括引进30名国际顶尖科学家，聚集科研人员超100名；两年内攻克超30项光子领域“卡脖子”关键核心技术；建成3条中试生产线、2个专业孵化载体；并助推陕西光子产业产值在2027年突破500亿元。