上海微电子1.1亿中标科技部光刻机采购项目，单一来源引关注

21世纪经济报道记者 赵云帆

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根据中国政府采购网公示，12月25日，上海微电子装备（集团）股份有限公司中标zycgr22011903采购项目，采购内容为步进扫描式光刻机，设备数量为一台，成交金额10999.985万元。

公开资料显示，上海微电子隶属于上海电气集团，是中国半导体装备领域的核心企业，尤其在高端光刻机的研发与制造方面处于国内领先地位。今年5月，上海微电子已官宣实现90nm ArF光刻机量产。

值得注意的是，该中标公告中的几个关键信息，引发了外界的广泛关注。

首先，此次采购的设备型号为SSC800/10，其中“SSC”为首次公开的光刻机型号代号。

代号中，“SS”或代表“步进扫描式”，这是当前主流精密制程所用半导体极紫外光（EUV）、深紫外光（DUV）光刻机的主要机械工作方案。目前上海微电子量产的光刻机，包括前道制造、浸没式光刻机“SSA”“SSX”“SSB”等系列。

从采购方式来看，“单一来源采购”或表明该项目的技术先进性与独特性。

依据《政府采购法》，“单一来源采购”的情形，仅被允许在因货物或服务使用了不可替代的专利、专有技术，或者公共服务项目有特殊要求，导致只能从某一特定供应商处采购；包括不可预见的紧急情况；保证原有项目一致性或服务配套；以及招标失败等情况。

值得注意的是，根据公示信息，此次采购主体“zycgr22011903”使用了保密代码，其一般为有保密需求的特定机构、项目主体或采购批次的代称。

而从“zycgr22011903”过去一段时间的半导体相关开标情况来看，该主体在半导体领域分别招标了包括晶圆清洗机、椭偏仪、等离字体增强化学气相沉积(PECVD)、原子层刻蚀设备(ALE)、电子束光刻机中标公告。

从金额来看，上海微电子约1.1亿元的中标金额，与大量光刻机相关招标，总计百万或小千万级别的中标金额有较大差距。

另一方面，全球知名光刻机企业阿斯麦的光刻机整机价格，DUV和EUV光刻机分别在5亿元人民币和10亿元人民币以上，价格仍然远高于上海微电子。

其他国内光刻机进展方面，今年以来，哈尔滨工业大学成功研发13.5nm极紫外光刻光源，中国科学院上海光机所的深紫外光源系统提升工艺极限至3纳米理论值。种种迹象显示，我国在光刻机领域正获得突破性进展。

而相关中标信息也迅速在资本市场掀起波澜，当天午后光刻机概念即异动拉升，国风新材直线涨停，华软科技、华融化学、高盟新材等概念股也均有冲高表现。