北大攻克原子力显微镜技术瓶颈，实现国产探针量产获千万融资

作者 | 乔钰杰

编辑 | 袁斯来

硬氪获悉，近日，专攻原子力显微镜（AFM）探针研发的探真纳米科技（衢州）有限公司完成新一轮股权融资，获得衢州绿石新材料股权投资合伙企业（有限合伙）与杭州德甫股权投资有限责任公司共计超千万元的投资。我们总结了本轮融资信息和该公司几大亮点：

融资金额及投资机构

融资轮次：Pre-A / A 轮

融资规模：千万元

基金用途：将重点优化探针的批量化制备工艺，提升产品稳定性和良率。此外还将用于原子力显微镜（AFM）探针的全品类研发与新产线的布置。

公司基本信息

成立时间：2016年

注册地址：浙江省衢州市

技术亮点：探真纳米科技凭借其在微纳加工领域多年的技术与工艺积累，通过基于干法刻蚀的创新微纳加工工艺，实现了从晶圆起步的探针开发，在探针的曲率半径、深宽比和使用寿命等关键指标上已部分处于国际领先水平。今年年初，公司自主研发的AFM探针产品已实现上市销售。

小球探针（图源/企业）

市场空间

原子力显微镜（AFM）是纳米科技、材料科学，半导体工业以及生命科学等诸多领域不可或缺的高精度检测仪器，在半导体制造中，AFM承担着“质量把关”的角色，通过纳米级别的探针对芯片进行精密扫描，判断工艺是否达标。AFM探针作为原子力显微镜的核心消耗部件，使用频率高且复购属性强，但长期以来依赖进口，价格高昂且供应受限，在科研和产业应用中逐渐成为成本与供应链风险的来源。

TZ Edge系列边缘探针（图源/企业）

在半导体国产化和科研仪器自主可控背景下，AFM探针这一小体量、高附加值、高复购率的细分市场，正显现出明确的国产替代空间，其国产化进程还将带动相关配套产业链的发展。

团队背景

公司创始人崔波教授，本科毕业于北京大学物理系，博士毕业于普林斯顿大学电子工程系，曾在加拿大滑铁卢大学担任教授多年，从事微纳加工领域研究近三十年的时间，近十余年持续专注于AFM探针的研发与产业化工作。2024年，崔波教授加入宁波东方理工大学，其课题组与公司在技术方向上保持深度协同，除了形貌检测探针之外，围绕导电探针、快速定位探针、金刚石探针、球形探针以及磁性探针等各种AFM探针持续进行技术攻关。

创始人问答

硬氪：目前国内AFM 探针行业整体处于什么阶段？您基于怎样的产业环境决定回国创业？

崔波：目前国产原子力显微镜探针市场99%都是依赖进口的。国内有一些公司做改进型的探针，比如在通用探针基础上增加功能，但从晶圆开始做探针的只有我们在做。

选择回国创业，一方面是国内整体创业氛围更为活跃，另一方面在融资、政策支持以及产业配套方面条件更加成熟。以金刚石探针为例，国内可以找到多家成熟的金刚石薄膜供应商，上下游配套更加完备。

硬氪：选择干法刻蚀的微纳加工工艺的核心优势是什么？

崔波：干法刻蚀的核心优势是更可控。湿法刻蚀探针的形状是由硅的晶向决定的，不好调整，干法刻蚀可以根据不同的应用场景调整探针的尖锐度等关键参数。干法刻蚀的成本原本要更高，最近这二十年干法刻蚀技术发展得非常快，成本也有所下降，已经可以达到替代湿法刻蚀的水平了。

硬氪：目前的客户群体是怎么样的？客户反馈如何？

崔波：目前我们的客户以科研院所为主，同时也覆盖部分半导体厂商。其中，集成电路制造相关的大型半导体厂商仍处于测试和验证阶段，在其他半导体领域，已实现一定规模的实际销售。

整片晶圆（图源/企业）

客户选择我们的主要原因在于性价比优势。相比国际头部品牌，我们的价格低30%—40%，但在深宽比、针尖曲率半径和使用寿命等指标上，性能并不逊色，部分指标甚至更优。我们目前欠缺的就是稳定性，但使用测试扫描图像已经没问题了。

硬氪：AFM探针实现相当比例的国产替代的难点在哪？

崔波：目前最大的挑战在于品牌建设。很多用户测试阶段认可国产产品的性能，但在实际采购时仍倾向于长期使用的国际品牌，例如Olympus、NanoWorld等，已经形成了使用惯性。

从技术角度看，我并不太担心。我们今年年初才开始销售，现在大多数问题已经解决了，还有一些次要问题，主要集中在良率和外观一致性上，这些在未来半年内是可以逐步改善的。但品牌信任的建立，可能需要更长的时间。