恒运昌第四代等离子体射频电源Cedar系列验证中，支持快速大数据采集

6月4日，恒运昌（688785.SH）发布了一份投资者关系活动记录，其中包含多项值得深入解读的重要信息。

首先聚焦其核心业务——等离子体射频电源系统。该系统的应用场景极为广泛，不仅在半导体制造工艺中覆盖薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶及键合等关键环节，还延伸至光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜，乃至常压等离子体清洗等工业应用领域。值得留意的是，这套系统具备极高的定制化特性：通常由下游设备厂商提出具体技术指标与功能需求，恒运昌则据此展开自主研发，定制新产品并制作样机供客户验证。简言之，这并非标准化产品，而是一套深度定制的整体解决方案。

在产品迭代方面，有一个值得关注的产品动向：截至2025年底，其第四代等离子体射频电源系统Cedar系列仍处于验证阶段。该系列的核心突破在于将射频电源与匹配器集成于一个一体化平台，并配备多个中心阻抗应用模块，从而支持快速数据采集与大数据处理。对于支撑更先进的半导体制造工艺而言，这无疑是关键的技术布局。

再来看上游供应链情况。恒运昌在此领域构建了较为稳定的供应商管理体系，评估维度涵盖经营资质、生产能力、技术水平、质量管控水平、产品价格，以及响应速度与付款条件等。经综合评定后，合格供应商将被列入名录，并在供货阶段实行动态管理，持续优化采购渠道。为确保生产的连续性与稳定性，公司对常用材料建立了安全库存机制，考量因素包括采购周期、供应商供货能力及起订门槛等。

从原材料结构来看，等离子体射频电源系统所使用的主要元器件包括电容、电阻、芯片等电子元器件，功率模块等电气件，以及钣金件等结构件。其中有一项重要突破：自2024年起，恒运昌在上游采购中已逐步实现真空电容、陶瓷电容、MCU、SiC MOS、LDMOS、部分ADC及FPGA等元器件的国产化应用。目前，公司已确定上游元器件的全国产化方案，后续将持续推进全面的国产化验证工作。这表明在供应链安全方面，他们正朝着更加自主可控的方向稳步迈进。

产能方面，目前呈现“产能持续高负荷运行”的局面——公司已连续三年超负荷运转，2025年产能利用率高达98.51%，几乎接近满产。为缓解这一紧张状态，公司正从两个方向同步推进：一是通过扩产与生产流程优化提升产能，具体举措包括加速推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，助其从试产阶段过渡到正式投产；同时推进深圳产能建设。二是逐步落实半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目。双线并行之下，后续产能释放值得期待。

最后是公司正在推进的“营销及技术支持中心项目”。该项目的布局逻辑非常清晰：在长三角地区、京津冀地区、中西部地区等晶圆制造集群区域设立营销及技术支持中心，旨在提升与晶圆厂的协同效率，保障产能快速扩张背景下的芯片良率与生产连续性。目前，公司已新增全资子公司北京恒运昌、上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥恒运昌作为该募投项目的实施主体。其中，北京恒运昌已进入正式运营阶段，其余三家仍处于前期筹备阶段。从布局节奏来看，长三角及中部地区的战略落子才刚刚开始。