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华海清科获国内首台全自动板级CMP量产装备订单

华海清科获国内首台全自动板级CMP量产装备订单

热心网友 时间:2026-08-13
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华海清科自主研发的国内首台510×515mm全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX获得先进封装领域客户订单,将进入产线量产。该装备是国内首台进入产线的国产全自动板级CMP装备,标志着CMP技术从晶圆级向板级延伸,补全了半导体产业链关键环节。

华海清科(688120.SH)近日发布了一则重磅进展:公司自主研发的国内首台510×515mm尺寸全自动板级CMP量产装备——Master-P510APEX,已成功获得先进封装领域重要客户订单,后续将按既定计划导入客户端产线,正式投入量产应用。

这台装备的重要性体现在哪?简单来说,它有望成为国内首台真正进入量产产线的国产全自动板级CMP装备。对于先进封装发展以及整个半导体产业链自主可控能力提升而言,这意味着关键环节实现了进一步补强。从行业层面来看,这次突破不仅是单一产品的落地,更标志着华海清科CMP装备技术正式完成了从晶圆级向板级封装领域的重要拓展。众所周知,板级封装在提升制造效率、降低单件成本方面具备显著优势,但相关配套设备技术门槛高、产业化难度大。如今能够在这一核心装备方向取得突破,的确值得半导体设备行业持续关注。

当然,这只是迈出的第一步。从技术研发、订单获取到后续量产导入,再到客户端产线稳定运行,未来仍有一系列验证与磨合工作需要完成。但至少目前来看,这一步走得扎实而关键,也为国产封装设备自主化、先进封装装备国产替代提供了一个具有参考价值的样本。

来源:https://www.163.com/dy/article/KV05V6EM0550WHYR.html

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