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台积电美国Fab 21工厂内部视频首曝:4纳米芯片制造全揭秘

台积电美国Fab 21工厂内部视频首曝:4纳米芯片制造全揭秘

热心网友 时间:2025-12-05
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10 月 22 日,台积电最新 YouTube 账号于 10 月 19 日发布了一支视频,罕见地展示了其美国亚利桑那州 Fab 21 晶圆厂的内部场景,这也是这座全球最先进半导体工厂的运作细节首次向公众公开。

视频中最引人注目的亮点之一,是被称作"白银高速公路"的高架轨道系统。这套系统专门负责高速、精准地运输装有 12 英寸晶圆的 FOUP,确保生产流程的顺畅与高效。

此外,视频还呈现了黄光照明下的洁净室环境。这种特殊的光照设计能够保护涂覆在晶圆上的光刻胶层,避免其在生产过程中受到损害。以下是相关视频截图:

内部视频首度曝光:探秘台积电美国 Fab 21 工厂如何制造 4 纳米芯片

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在核心设备方面,视频近距离展示了来自荷兰阿斯麦的 Twinscan NXE:3600D 极紫外光刻机。作为制造先进制程芯片不可或缺的关键工具,它能够在晶圆上蚀刻出小至 13 纳米的精细电路结构,其形成的晶体管线宽比一根发丝的万分之一还要纤细。正是依靠这些尖端的设备,Fab 21 工厂才能够顺利运营台积电的 4 纳米和 5 纳米制程节点。

内部视频首度曝光:探秘台积电美国 Fab 21 工厂如何制造 4 纳米芯片

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来源:https://www.ithome.com/0/891/452.htm

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