国产半导体装备新突破：芯上微350nm光刻机交付启程

上海芯上微装科技股份有限公司近日宣布，其自主研发的首台350纳米步进式光刻机AST6200已顺利完成出厂调试与验收流程，并正式启动交付客户。这一成果标志着我国在高端半导体光刻设备领域取得又一重要技术突破，为国产半导体装备向高端化、自主化发展树立了新的里程碑。

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AST6200光刻机凝聚了芯上微装多年来在光学系统设计、精密运动控制及半导体工艺领域的深厚积累，精心打造成为一款高性能、高可靠性、全自主可控的步进式光刻设备。该设备专为功率半导体、射频器件、光电子及Micro LED等先进制造场景设计，能够满足复杂工艺需求。

在核心性能方面，AST6200实现了多项技术突破。其高分辨率成像系统搭载大数值孔径投影物镜，结合多种照明模式与可变光瞳技术，可稳定输出350纳米级分辨率，完全满足当前主流化合物半导体芯片的光刻工艺要求。设备配备的高精度对准系统支持正面套刻精度达80纳米、背面套刻精度达500纳米，有效保障多层图形精准叠加，显著提升器件良率。

为提升生产效率，AST6200采用多重优化设计。其高照度I-line光源（波长365纳米）配合高速直线电机基底传输系统，可支持2至8英寸多种规格基片的快速切换。高速高精度运动台系统最大加速度达1.5g，大幅缩短单批次处理时间，有效降低设备综合拥有成本。这些设计使设备在保持高精度的同时，实现了产能的显著提升。

该设备在工艺适应性方面表现突出。其兼容硅（Si）、碳化硅（SiC）、磷化铟（InP）、砷化镓（GaAs）、蓝宝石等多种材质基片，可处理平边、双平边、Notch等不同形态基片。创新调焦调平系统采用多光斑、大角度入射设计，能够精准测量透明、半透明、不透明及存在大高度差的基底表面。设备还支持背面对准模块，可满足键合片等复杂制程的精密对准需求。

在软件系统方面，AST6200搭载芯上微装自主研发的全栈式软件控制系统，实现从底层驱动到上层工艺管理的完全自主可控。该系统不仅具备强大的工艺扩展能力，还支持远程运维功能，为设备长期稳定运行提供技术保障。这一全栈国产生态的构建，标志着我国在半导体装备核心软件领域实现重要突破。