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聚光科技7350系列质谱仪灵敏度和抗干扰能力升级

聚光科技7350系列质谱仪灵敏度和抗干扰能力升级

热心网友 时间:2026-07-18
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谱育科技7350系列三重四极杆ICP-MS MS已批量交付,灵敏度、抗干扰及自动化联用等核心指标大幅提升。对半导体湿化学品、晶圆杂质等样品检测能力达sub-ppt水平,覆盖全场景超痕量检测,支持先进制程工艺规格与材料认证。

有投资者在互动平台向聚光科技(300203.SZ)询问,谱育科技推出的7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS/MS)是否已经进入批量交付阶段?该产品在实际性能上与国外同类仪器相比,是存在差距,还是已经实现了技术领先? 7月13日,公司官方回复称,谱育科技于今年3月发布的7350系列,在灵敏度、抗干扰能力及自动化联用等关键性能指标上,均实现了显著提升。针对半导体行业常见的典型样本,例如湿化学品、晶圆表面杂质金属、硅烷和电子特气等,该设备的检测能力已稳定达到sub-ppt级别。这一精度水平非常出色,不仅能够全面覆盖半导体各类场景的超痕量检测需求,而且随着灵敏度的提升,还能更好地支撑半导体量测端的数据质量控制,从而为主流制程及先进制程提供更严格的工艺规范与材料认证支持。
来源:https://www.163.com/dy/article/L1NSQ0040550WHYR.html

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