全球首台310mm PLP ECD量产设备交付 先进封装关键技术突破

先进封装领域的重大突破来了。6月15日，Manz亚智科技正式宣布，全球首台310mm×310mm面板级封装电化学沉积（ECD）量产设备“Omni 310x”成功完成交付。这个消息意味着什么？意味着RDL制程在先进封装这条赛道上，又向前迈出了实质性的一步。

先看一组直观的数据对比：300mm圆形晶圆的面积大约70686mm²，而310mm方形面板的面积是96100mm²——绝对面积提升了约36%。别小看这36%，在面板级封装（PLP）这个方向上，310mm规格正逐渐成为关键技术路径，优势相当明显。

Omni 310x的核心技术亮点，在于它采用的是Manz垂直无治具电镀技术。镀铜均匀性超过了95%，最小线宽和线距可以做到5μm/5μm。这个精度水平，对于当前AI芯片、HPC处理器、HBM内存以及高速传输芯片来说，已经具备了量产落地的能力。

更值得关注的是，这台设备不是单一的电镀机，而是把清洗、显影、蚀刻、剥膜以及ECD五大核心湿制程整合到了一起，并且支持旋转喷洒和面喷洒两种工作模式。换句话说，FOPLP、CoPoS、TGV这些主流的先进封装架构，它都能覆盖。这背后体现的，其实是设备厂商对产线弹性和集成度的深度考量。

随着Omni 310x的加入，Manz的Omni x系列平台现在已经形成了310mm、510mm和700mm的全系列量产方案组合。这个平台采用模组化设计，客户可以根据自己的实际需求，从研发验证阶段一直定制配置到大规模量产阶段。对于设备采购方来说，这种灵活性意味着更低的试错成本和更快的爬坡速度。

Manz亚智科技总经理林峻生对此评价道：全球首条Omni 310x成功导入客户产线，说明市场对高弹性、量产导向的先进封装制程平台的需求正在持续快速增长。这个判断其实点出了当前半导体封装行业的痛点——工艺越复杂，对设备平台的可扩展性和定制化要求就越高。